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含氟气体材料
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电子级六氟化钨

[ 时间:2018-07-25 17:42:46 ]
电子级六氟化钨
详情介绍
  电子级六氟化钨:用于半导体产业中晶圆生产过程的外延片的钨沉积。
  近年来,黎明院电子级六氟化硫、三氟化氮、四氟化碳、六氟化钨等含氟特种气体的研发也取得了丰硕成果,其中自主研发的处于国际先进水平的新型电解技术可实现直接一步反应生产三氟化氮,其产品指标达到国际先进水平。超高纯六氟化硫、四氟化碳的研发列入国家重大专项课题“02专项”, 重点开发满足半导体集成电路领域使用的更高纯度含氟电子气体。
  2016年6月,黎明院建设的1000吨/年三氟化氮项目,全面建成并达到设计能力,黎明院成为中国第二大三氟化氮生产商,二期1000吨/年正实施中。该项目实现技术与市场的强强联合……
  2016年4月,黎明院获批设立含氟电子气体河南省工程实验室,将实现主要含氟电子气体产品的国产化,建成在国际上有一定影响力的含氟电子化学品创新平台,开展技术研究、成果转化和技术辐射,为集成电路、平面显示器件、半导体器件、太阳能电池等电子工业发展提供强力支撑。
  未来几年,黎明院继续加大研发和产业化力度,肩负起电子气体材料国产化的重担,逐步由生产商向国内一 流的生产+综合气体供应商转型发展,满足国内外相关领域发展的需求。
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